実際の多層膜を成膜後に発生する設計とのズレ原因を分解して解析します。
・Systematic Shift(規則的シフト量)
・Systematic Thickness(規則的厚み誤差)
・Systematic Refactive Index(規則的屈折率誤差)
・Systematic Extinction(規則的消衰係数誤差)
・Systematic Inhomogeneities(規則的不均質量)
・Quasi-Random Thickness(準ランダム厚み誤差)
・Random Thickness(ランダム厚み誤差)
例1 λ/4交互15層膜の解析例(屈折率とランダム誤差を解析)
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