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有限会社 ケイワンは光学薄膜設計ソフト" Optilayer"の日本販売代理店です。

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OptiChar使用例 OptiLayer

OptiChar

単層膜の分光特性またはエリプソメータのデータから膜の分散特性、消衰係数を求めるソフトです。測定データから膜の不均質性や充填率を予測することができます。


 

  例 : 単層膜の反射特性実測値
     SiO2単層の分光反射特性の実測データ






  
既知の基板に成膜した単層膜の屈折率特性を計算する

  
日立分光器のUDSファイルの直接読み込み


【使用例1】既知の基板に成膜した単層膜の屈折率特性を計算する


①基板データの屈折率を表示させています。


 基板:BK7(吸収はないものとする)















②分光器測定データを読み込みます。


 成膜材料:SiO2














③基板のデータと測定値を重ね合わせます。


















④屈折率のおよその予想値範囲を入れます。


 成膜材料のSiO2屈折率は1.3~1.6と予想
 屈折率の分散は Normal Dispersion
 吸収はなしの Non-absorbing


















⑤フィッティングをかけた結果


 黒線が計算によるフィッティング後のグラフ
 赤線が測定によるグラフ
 計算結果と測定値のズレが大きい状態です。













⑥不均質があると予想し、不均質を見込んで再フィッティング


 ほぼ、測定値と同じになりました。















⑦波長別屈折率の表示


















⑧不均質の発生程度の表示


 本例では 膜に1.66045%の不均質がある
 と考えられます。










【使用例2】日立分光器のUDSファイルの直接読み込み (Next version)


次のバージョンから日立のUDSバイナリファイル(UH-4150/U-4100)が直接読み込めるようになります。

①メニューのEditのインポートデータにHitachiが必要時されます。




②UDSファイルが表示されます。



③UDSファイルを直接読み出しました。



④OptiCharへの登録名を入力します。



⑤OPtiCharの登録データに変換されました。



⑥OptiCharのMeasurmentsデータベースに登録されました。






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