可能です。測光データ(分光器の反射率および/あるいは透過率)のみを使って計算することや、エリプソメーターのデータのみを使うこと、あるいはそれらの両方を組み合わせて(測光+偏光解析)計算することが可能です。サンプル例題にも含まれています。
何層でも可能なので複雑な問題も解決できます。正確には、現在のバージョンでは65,535層で制限がかかりますが、それでルゲートフィルターも設計することが可能です。
多くの成膜材料、ガラスや基板の光学定数を含んだCatalogを提示しており読み出すことができます。すべての材料について、データの出所も記載しています。
ご自身で使われる材料の光学定数を表、あるいは数式の形式で定義することは可能です。必要であればそれらの光学定数を、例えば「MyCatalog」というような名前を付けたディレクトリに保存することもできます。
OptiLayerはどのような波長範囲でも計算可能です。最新バージョンではEUVやX-ray関して特別なサポートをしており、見通し角の概念を取り入れ、屈折率はX線用途に適した形で指定することができます。コーティングの"analysis"と"refinement"の計算で各層の中間拡散層と不均質性を指定することも可能です。
OptiLayerはどのような波長範囲や角度範囲においても、反射率、透過率、s偏光、p偏光、平均偏光などの異なる複雑なターゲットを設定することができます。また、位相、群速度、群速度遅延分散、電界強度、色度などのターゲットも指定できます。OptiLayerで使われている機能はすべて確認・証明しており資料もあります。
http://www.optilayer.com/about-us/publications
もちろん可能です。OptiLayerは他のソフトウェアーと互換性のある形式でインポート/エクスポートすることができます。同様に設計データやターゲット、材料のデータを異なる形式で保存することも可能です。また、作成したデータをエクセルや他のスプレッドシートにエクスポートすることも可能です。
もちろんもっと良い方法があります。このような構成に対しOptiLayerは基板厚み、屈折率のみ指定することで自動的に計算させることが可能です。メニューの"Stack"を開いて指定して下さい。使用例もありますのでOptiLayerのマニュアルにある"Advanced Example 16"をご覧下さい。詳しくはhttp://www.optilayer.com/stacksでもご説明しています。
OptiLayerはどのような波長範囲や角度範囲においても、反射率、透過率、s偏光、p偏光、平均偏光などの異なる複雑なターゲットを設定することができます。また、位相、群速度、群速度遅延分散、電界強度、色度などのターゲットも指定できます。OptiLayerで使われている機能はすべて確認・証明しており、その資料も存在します。
http://www.optilayer.com/about-us/publications
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